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木津良祐

AIST

国立研究開発法人産業技術総合研究所計量標準センター主任研究員。2015年名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻修士課程修了。同年より先端科学技術大学院大学に勤務。2023年東京大学大学院工学系研究科先端学際工学専攻博士後期課程修了(博士(工学))。

専門は長さ測定原子間力顕微鏡を用いたナノ構造の幾何学とナノスケール標準の校正。近年は、半導体製造における結晶格子間隔を用いた線縁粗さ測定技術や長さ標準の研究に従事。