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招待講演

木津良祐

AIST

『傾斜探針型測長AFMによるナノ構造の寸法・形状計測』

 

 

産業技術総合研究所計量基準センター主任研究員。2015年、名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻修士課程修了。同年、産業技術総合研究所卒業。2023年、東京大学大学院工学系研究科先端学際工学専攻博士課程修了(博士(工学))。専門はナノ構造の幾何学と、長さ測定原子間力顕微鏡によるナノスケール標準の校正。近年では、半導体製造における結晶格子間隔を用いたエッジ粗さ測定技術や長さ規格の研究に従事。